在生產(chǎn)硅片的過程中,有一道重要的工序就是硅片拋光,拋光硅片的表面質(zhì)量與IC器件質(zhì)量、性能以及成品率有著直接的關(guān)系。硅片是通過和堿以及硅酸能產(chǎn)生氧化腐蝕的反應(yīng),從而進(jìn)行拋光的。近日,我司銷售部江經(jīng)理接到了林先生的來電,了解到在硅片拋光過程中會(huì)出現(xiàn)大量泡沫,這些泡沫會(huì)產(chǎn)生一些不良影響,因此聯(lián)系到了我司。江經(jīng)理在了解了基本情況后向林先生推薦了硅片拋光消泡劑,并且寄出了樣品試用。
(硅片拋光消泡劑應(yīng)用場景圖)
為什么硅片拋光工藝中會(huì)出現(xiàn)大量泡沫?
1. 在高壓、高剪切的硅片拋光環(huán)境下,受到了環(huán)境的影響,導(dǎo)致了許多泡沫的產(chǎn)生;
2. 硅片拋光過程中會(huì)使用到拋光漿,這類助劑由高活性脂、溶劑油等組成,具有起泡特性,很容易產(chǎn)生泡沫;
3. 機(jī)械設(shè)備的原因、空氣的混入也是硅片拋光起泡產(chǎn)生的原因之一;
4. 拋光過程中由于水分、油污、灰塵、殘留溶劑等雜質(zhì)的混入,也會(huì)導(dǎo)致起泡。
如果不及時(shí)消除硅片拋光中的泡沫,將會(huì)產(chǎn)生哪些不利影響呢?
1. 泡沫的產(chǎn)生會(huì)影響硅片拋光的質(zhì)量,會(huì)干擾到器件的性能,使器件的可靠性和其他性能下降;
2. 泡沫過多也會(huì)影響硅片拋光的進(jìn)度,導(dǎo)致其拋光效率降低,導(dǎo)致硅片拋光的成本增加;
3. 泡沫不及時(shí)清除也會(huì)殘留在硅片表面,導(dǎo)致了硅片表面產(chǎn)生較多的沾污程度和缺陷;
4. 此外,泡沫也會(huì)對(duì)硅片拋光設(shè)備造成影響,泡沫殘留在設(shè)備表面,影響了拋光設(shè)備的利用率。
為了減少硅片拋光起泡帶來的眾多危害,為什么江經(jīng)理會(huì)選擇硅片拋光消泡劑呢?
1. 該消泡劑具有快速的消泡能力和持久的抑泡能力,能夠迅速消除硅片拋光中的各類泡沫;
2. 具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性能,使用之后不會(huì)影響硅片拋光的效果和進(jìn)度,也不會(huì)與其發(fā)生任何化學(xué)反應(yīng);
3. 水溶性良好、分散快,能夠快速的與硅片拋光體系相溶,不漂油、不析出。
(硅片拋光消泡劑服務(wù))
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